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雙腔型超高真空蒸鍍系統
報價:面議
品牌: 韞茂科技
產地: 福建
關注度: 3020
型號: QBT-F
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產品介紹

雙腔型超高真空蒸鍍系統

1002.png

 技術參數:

1高真空腔體:2個高真空腔體包括負荷鎖及Evaporation,極限真空極限壓力<2e-8 Torr

2排氣速率:ATM到3E-7 Torr<20分鐘(裝載鎖)

3基板加熱:RT-600oC

4離子束清洗:考夫曼離子源,離子能量100-600 eV, 100-1200eV; 離子束電流::20-200mA,或100基板刻蝕
均一性<3%

5高壓電源:6-10千瓦電源,1-6源口袋

6成膜均勻性:<3%(6inch  Wafer)



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廈門韞茂科技有限公司為您提供韞茂科技雙腔型超高真空蒸鍍系統,雙腔型超高真空蒸鍍系統產地為福建,屬于實驗設備,除了雙腔型超高真空蒸鍍系統的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供公斤級粉體原子層沉積鍍膜系統、超高真空多腔體磁控濺射系統、公斤級粉末ALD,韞茂科技客服電話400-810-00691395,售前、售后均可聯系。
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廈門韞茂科技有限公司

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91350200MA31JEYQ4Y

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