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雙腔型超高真空蒸鍍系統
報價:面議
| 品牌: | 韞茂科技 |
| 產地: | 福建 |
| 關注度: | 3020 |
| 型號: | QBT-F |
產品介紹
雙腔型超高真空蒸鍍系統

技術參數:
1高真空腔體:2個高真空腔體包括負荷鎖及Evaporation,極限真空極限壓力<2e-8 Torr
2排氣速率:ATM到3E-7 Torr<20分鐘(裝載鎖)
3基板加熱:RT-600oC
4離子束清洗:考夫曼離子源,離子能量100-600 eV, 100-1200eV; 離子束電流::20-200mA,或100基板刻蝕
均一性<3%
5高壓電源:6-10千瓦電源,1-6源口袋
6成膜均勻性:<3%(6inch Wafer)
問商家
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廈門韞茂科技有限公司為您提供韞茂科技雙腔型超高真空蒸鍍系統,雙腔型超高真空蒸鍍系統產地為福建,屬于實驗設備,除了雙腔型超高真空蒸鍍系統的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供公斤級粉體原子層沉積鍍膜系統、超高真空多腔體磁控濺射系統、公斤級粉末ALD,韞茂科技客服電話400-810-0069轉1395,售前、售后均可聯系。
工商信息
企業名稱
廈門韞茂科技有限公司
企業類型
信用代碼
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍









