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雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)
報(bào)價(jià)：面議
| 品牌： | 韞茂科技 |
| 產(chǎn)地： | 福建 |
| 關(guān)注度： | 2814 |
| 型號： | QBT-I |
產(chǎn)品介紹
QBT-I 雙腔室高真空高速蒸鍍系統(tǒng)
產(chǎn)品詳情：
上下雙腔,集表面處理與蒸發(fā)鍍膜為一體,高效可靠的Indium蒸鍍助手。
技術(shù)參數(shù)
| QBT-I 技術(shù)參數(shù) Technical Specifications (Indium Bump等制備) | |
| 高真空腔體 HV Chamber | 2個(gè)HV腔室，Loadlock離子束刻蝕及蒸鍍，極限真空Ultimate Pressure<3E-8Torr |
| 排氣速率Pumping Spead | 從ATM到8E-7Torr<15min (loadlock) |
| 極限蒸發(fā)速率 High Depostion Rate | 5-12nm/s (Indium), Ф100基板鍍膜均一性<3%, 大容量坩堝 |
| 精準(zhǔn)的樣品冷卻控制 Wafer Cooling | -10-40℃ (精度±0.1） |
| 離子束清洗 Ion Milling | 考夫曼離子源, Ф100基板刻蝕均一性<3% |
| 人機(jī)界面 HMI | 全自動化人機(jī)操作界面 |
| 安全Safety | 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)安全互鎖Industry Safety Interlock，報(bào)警Alarm，EMO |
測試結(jié)果
問商家
- 雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)的工作原理介紹？
- 雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)的使用方法？
- 雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)多少錢一臺？
- 雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)使用的注意事項(xiàng)
- 雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)的說明書有嗎？
- 雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎？
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推薦產(chǎn)品
供應(yīng)產(chǎn)品
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工商信息
企業(yè)名稱
廈門韞茂科技有限公司
企業(yè)類型
信用代碼
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經(jīng)營范圍
