3 年
高級會員
已認證
雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統
報價：面議
| 品牌： | 韞茂科技 |
| 產地： | 福建 |
| 關注度： | 2930 |
| 型號： | QBT-P |
產品介紹
雙腔室超高真空雙磁控測射系統 QBT-P
磁控濺射技術原理
在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁場。當濺射產生的二次電子在陰極位降區內被加速為高能電子后，并不直接飛向陽極，而是在正交電磁場作用下作來回振蕩的近似擺線的運動。高能電子不斷與氣體分子發生碰撞并向后者轉移能量，使之電離而本身變成低能電子。這些低能電子*終沿磁力線漂移到陰極附近的輔助陽極而被吸收，避免高能電子對極板的強烈轟擊，消除了二級濺射中極板被轟擊加熱和被電子輻照引起的損傷，體現出磁控濺射中極板“低溫”的特點。由于外加磁場的存在，電子的復雜運動增加了電離率，實現了高速濺射。
磁控濺射技術特點
成膜速率高，基片溫度低，膜的粘附性好，可實現大面積鍍膜
技術參數
| QBT-P 技術參數 Technical Specifications （超導Ta/TiN/NbN/Al/Nb等制備） | |
| 超高真空腔體 UHV Chamber | 2個UHV Chamber,包括Loadlock及Sputtering, 極限真空Ultimate Pressure<3E-9Torr |
| 排氣速率Pumping Spead | 從ATM到1E-7Torr<20min (loadlock) |
| 基板加熱 Wafer Heating | RT-900oC |
| 離子束清洗 Ion Milling | 考夫曼離子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV; Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蝕均一性<3% |
| 磁控濺射Sputtering | DC or RF Power Supply, 基板與靶材距離連續可調Wafer and Target Space can Change Continoulsly |
| 基板傳輸 Wafer Transfer | 高度可靠和可重復的基板傳輸能力 |
| 人機界面 HMI | 全自動化人機操作界面 |
| 安全Safety | 工業標準安全互鎖Industry Safety Interlock，報警Alarm，EMO |
工藝展示
問商家
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統的工作原理介紹？
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統的使用方法？
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統多少錢一臺？
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統使用的注意事項
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統的說明書有嗎？
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統的操作規程有嗎？
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統的報價含票含運費嗎？
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統有現貨嗎？
- 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統包安裝嗎？
推薦產品
供應產品
廈門韞茂科技有限公司為您提供韞茂科技雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統，雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統產地為福建，屬于實驗設備，除了雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供公斤級粉體原子層沉積鍍膜系統、超高真空多腔體磁控濺射系統、公斤級粉末ALD,韞茂科技客服電話400-810-0069轉1395，售前、售后均可聯系。
工商信息
企業名稱
廈門韞茂科技有限公司
企業類型
信用代碼
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
