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實(shí)驗(yàn)設(shè)備

• 單腔型高真空蒸鍍系統(tǒng)
• 桌面型原子層沉積系統(tǒng)
• 超高真空多腔體磁控濺射系統(tǒng)
• 雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)
• 高真空等離子體
• 雙腔體粉末及Wafer等離子體ALD
• 公斤級(jí)粉末ALD
• 內(nèi)外腔型百克級(jí)粉體分子層沉積系統(tǒng)
• 雙腔型超高真空蒸鍍系統(tǒng)
• 超高真空雙傾角室蒸發(fā)設(shè)備
• 雙腔室UHV磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
• 高真空磁控濺射系統(tǒng)
• 雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)

混合機(jī)

• 公斤級(jí)粉體原子層沉積鍍膜系統(tǒng)